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 Effect of Post-Etch Wet Cleaning on GaAs Surfaces 蚀刻后湿法清洗对GaAs表面的影响
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期刊：Diffusion and defect data, solid state data. Part B, Solid state phenomena/Solid state phenomena 作者：Tomoki Hirano; Suguru Saito; Yoshiya Hagimoto; Hayato Iwamoto 出版日期：2023-08-14 |
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