Short-Pulse Laser and Plasma Etching Composite Micromachining for Realizing High-Accuracy SiC Pressure Sensor

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标题	Short-Pulse Laser and Plasma Etching Composite Micromachining for Realizing High-Accuracy SiC Pressure Sensor 短脉冲激光和等离子体刻蚀复合微加工实现高精度SiC压力传感器相关领域表面微加工材料科学蚀刻（微加工）等离子体光电子学等离子体刻蚀脉搏（音乐）激光器复合数微电子机械系统碳化硅复合材料光学制作物理医学替代医学病理图层（电子）量子力学探测器
网址	https://doi.org/10.1109/ted.2025.3539647
DOI	10.1109/ted.2025.3539647 doi
其它	期刊：IEEE Transactions on Electron Devices 作者：Yabing Wang; You Zhao; Yu Yang; Yulong Zhao 出版日期：2025-01-01
求助人	跳跃尔琴在 2025-03-10 10:36:56 发布自上海，悬赏 10 积分
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