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 Wafer-Scale Fabrication of Recessed-Channel PtSe2 MOSFETs With Low Contact Resistance and Improved Gate Control 具有低接触电阻和改进栅极控制的凹沟道PtSe2 MOSFET的晶圆级制造
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期刊：IEEE Transactions on Electron Devices 作者：Lei Li; Kuanchen Xiong; Roderick J. Marstell; Asher Madjar; Nicholas C. Strandwitz; et al 出版日期：2018-09-22 |
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