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Large-Range Spurious Mode Elimination for Wideband SAW Filters on LiNbO₃/SiO₂/Si Platform by LiNbO₃ Cut Angle Modulation
LiNbO₃/SiO₂/Si平台宽带SAW滤波器的大范围杂散模消除
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期刊:IEEE Transactions on Ultrasonics Ferroelectrics and Frequency Control 作者:Huiping Xu; Sulei Fu; Junyao Shen; Zengtian Lu; Rongxuan Su; et al 出版日期:2022-02-15 |
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