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 Measurement of neutral gas temperature in inductively coupled Ar and Ar/O2 plasmas 电感耦合Ar和Ar/O2等离子体中性气体温度的测量
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期刊：Journal of Applied Physics 作者：Pengcheng Du; Fang-Jie Zhou; Kai Zhao; Yong-Xin Liu; Fei Gao; et al 出版日期：2022-07-22 |
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