标题 |
High throughput AFM inspection system with parallel active cantilevers
具有并联主动悬臂的高通量AFM检测系统
相关领域
悬臂梁
吞吐量
原子力显微镜
计算机科学
纳米技术
材料科学
复合材料
操作系统
无线
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DOI | |
其它 |
期刊: 作者:Mathias Holz; Christoph Reuter; Alexander Reum; Ahmad Ahmad; Martin Hofmann; et al 出版日期:2019-09-26 |
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