Integration of Ferroelectric Al0.8Sc0.2N on Si (001) Substrate

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标题	Integration of Ferroelectric Al0.8Sc0.2N on Si (001) Substrate Si（001）衬底上Al0.8Sc 0.2 N铁电体的集成相关领域铁电性物理光电子学电介质
网址	https://doi.org/10.1109/led.2024.3363724
DOI	10.1109/led.2024.3363724 doi
其它	期刊：IEEE Electron Device Letters 作者：Wenxin Sun; Jiuren Zhou; Ning Liu; Siying Zheng; Xiaoxi Li; et al 出版日期：2024-02-08
求助人	Sean 在 2024-11-28 09:40:19 发布自河北，悬赏 10 积分
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