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 Plasma diagnostics of an Ar/NH3 direct-current reactive magnetron sputtering discharge for SiNx deposition Ar/NH3直流反应磁控溅射沉积SiNx的等离子体诊断
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期刊：Thin Solid Films 作者：Franck Henry; Corinne Duluard; Abdelkrim Batan; François Reniers 出版日期：2012-06-20 |
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