标题 |
A strategy for obtaining AlN heteroepitaxial films with high crystalline quality
一种获得高结晶质量AlN异质外延薄膜的策略
相关领域
材料科学
质量(理念)
纳米技术
光电子学
工程物理
工程类
认识论
哲学
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DOI | |
其它 |
期刊:Nature Materials 作者: 出版日期:2023-06-26 |
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