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标题
Catalytic mechanism of tribochemical mechanical polishing on (0001) C-face of single crystal 6H-SiC substrate
单晶6H-SiC衬底(0001)C面摩擦化学机械抛光的催化机理
相关领域
催化作用 材料科学 抛光 化学工程 基质(水族馆) 衍射仪 扫描电子显微镜 表面粗糙度 Crystal(编程语言) 纳米技术 冶金 复合材料 化学 有机化学 工程类 地质学 程序设计语言 海洋学 计算机科学
网址
DOI
10.1007/s00170-023-11494-y doi
其它 期刊:The International Journal of Advanced Manufacturing Technology
作者:Mingpu Xue; Wen Xiao; Tianyi Zhang; Zhankui Wang; Jianxiu Su
出版日期:2023-05-20
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