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Atomic scale controlled tunnel oxide enabled by a novel industrial tube‐based PEALD technology with demonstrated commercial TOPCon cell efficiencies > 24%
基于新型工业管的PEALD技术实现了原子级受控隧道氧化物,已证明商用TOPCon电池效率>24%
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期刊:Progress in Photovoltaics 作者:Baochen Liao; Weiliang Wu; Reuben J. Yeo; Xinyuan Wu; Sheng Ma; et al 出版日期:2022-09-30 |
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