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 Tube‐type plasma‐enhanced atomic layer deposition of aluminum oxide: Enabling record lab performance for the industry with demonstrated cell efficiencies >24% 氧化铝的管式等离子体增强原子层沉积：实现工业实验室性能记录，电池效率>24%
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期刊：Progress in Photovoltaics 作者：Baochen Liao; Xinyuan Wu; Wei Wu; Changming Liu; Sheng Ma; et al 出版日期：2022-07-16 |
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