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Temperature dependence of Ga2O3 growth by halide vapor phase epitaxy on sapphire and β -Ga2O3 substrates
蓝宝石和β-Ga2O3衬底上卤化物气相外延生长Ga2O3的温度依赖性
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期刊:Applied Physics Letters 作者:Ken Goto; Hidetoshi Nakahata; Hisashi Murakami; Yoshinao Kumagai 出版日期:2020-11-30 |
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