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 Effect of O2 plasma pretreatment on structural and optical properties of ZnO films on PES substrate by atomic layer deposition O2等离子体预处理对PES衬底原子层沉积ZnO薄膜结构和光学性能的影响
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期刊：Journal of Industrial and Engineering Chemistry 作者：J.H. Heo; Hyukhyun Ryu; Won–Jae Lee 出版日期：2013-02-14 |
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