标题 |
Model-Based OPC With Adaptive PID Control Through Reinforcement Learning
基于模型的强化学习自适应PID控制OPC
相关领域
PID控制器
强化学习
钢筋
计算机科学
自适应控制
控制(管理)
工程类
控制工程
人工智能
温度控制
结构工程
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DOI | |
其它 |
期刊:IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing 作者:Taeyoung Kim; Shilong Zhang; Youngsoo Shin 出版日期:2025-01-01 |
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