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标题
Stochastic lattice model for atomic layer deposition and area-selective deposition of metal oxides: Visualization and analysis of lateral overgrowth during area-selective deposition
金属氧化物原子层沉积和区域选择性沉积的随机晶格模型：区域选择性沉积过程中横向过度生长的可视化和分析
相关领域
沉积（地质） 原子层沉积 材料科学 金属 图层（电子） 格子（音乐） 可视化 化学工程 纳米技术 冶金 地质学 计算机科学 物理 工程类 地貌学 人工智能 沉积物 声学
网址
https://doi.org/10.1116/6.0003838
DOI
10.1116/6.0003838 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films
作者：N Carroll; Gregory N. Parsons
出版日期：2024-11-14
求助人
Laundry 在 2025-02-05 14:41:17 发布自中国，悬赏 10 积分
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