Lift-Off Free Fabrication Approach for Periodic Structures with Tunable Nano Gaps for Interdigitated Electrode Arrays

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标题	Lift-Off Free Fabrication Approach for Periodic Structures with Tunable Nano Gaps for Interdigitated Electrode Arrays 叉指电极阵列可调纳米间隙周期结构的无剥离制造方法相关领域材料科学制作电极纳米光电子学平版印刷术纳米技术压花硅纳米- 复合材料医学病理物理化学化学替代医学
网址	https://doi.org/10.1021/acsnano.5b06405
DOI	10.1021/acsnano.5b06405 doi
其它	期刊：ACS Nano 作者：Stefan Partel; Can Dincer; Stephan Kasemann; Jochen Kieninger; Johannes Edlinger; et al 出版日期：2015-12-01
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