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Analysis of Electron Thermal Properties in Ar/O2 Inductively Coupled Plasmas: A Global Model Simulation Using Langmuir Probe Data
Ar/O2电感耦合等离子体中电子热性质的分析:使用Langmuir探针数据的全局模型模拟
相关领域
朗缪尔探针
感应耦合等离子体
等离子体
材料科学
温度电子
等离子体诊断
分析化学(期刊)
化学
物理
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核物理学
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期刊:Current Applied Physics 作者:Hwiwon Seo; Haneul Lee; Ji-Won Kwon; Gwanjoong Kim; Ingyu Lee; et al 出版日期:2024-11-15 |
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