Atomic Layer Deposition of Copper Seed Layers from a (hfac)Cu(VTMOS) Precursor - 科研通

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标题	Atomic Layer Deposition of Copper Seed Layers from a (hfac)Cu(VTMOS) Precursor （hfac）Cu（VTMOS）前驱体中铜种子层的原子层沉积相关领域铜原子层沉积材料科学图层（电子）沉积（地质）化学工程冶金纳米技术地质学沉积物工程类古生物学
网址	https://doi.org/10.3938/jkps.54.1330
DOI	10.3938/jkps.54.1330 doi
其它	期刊：Journal of the Korean Physical Society 作者：Dae-Yong Moon; Woong-Sung Kim; Tae-Sub Kim; Byung-Woo Kang; Jong-Wan Park; et al 出版日期：2009-03-14
求助人	研友_LNVpvL 在 2024-01-19 14:15:52 发布自江苏，悬赏 10 积分
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