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Investigation on the effect of geometrical dimensions on the conductive behaviour of a MEMS convective accelerometer
几何尺寸对MEMS对流加速度计导电性能影响的研究
相关领域
加速度计
微电子机械系统
导电体
对流
有限元法
声学
材料科学
电子工程
机械
电气工程
计算机科学
工程类
结构工程
光电子学
物理
操作系统
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期刊： 作者：A. Rekik; Brahim Mezghani; Florence Azaïs; Norbert Dumas; Mohamed Masmoudi; et al 出版日期：2011-05-11 |
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