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Flexible nanoimprint lithography enables high-throughput manufacturing of bioinspired microstructures on warped substrates for efficient III-nitride optoelectronic devices
柔性纳米压印光刻技术能够在翘曲衬底上高通量制造用于高效III氮化物光电器件的生物激励微结构
相关领域
纳米压印光刻
材料科学
微观结构
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纳米技术
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氮化物
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期刊:Science Bulletin 作者:Siyuan Cui; Ke Sun; Zhefu Liao; Qu Zhou; Liang Jin; et al 出版日期:2024-04-01 |
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