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Plasma‐resistance evaluation of yttrium oxyfluoride coating prepared by aerosol deposition method
气溶胶沉积法制备的氟氧化铱涂层的耐等离子体性能评价
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期刊:International Journal of Applied Ceramic Technology 作者:Hiroaki Ashizawa; Katsumi Yoshida 出版日期:2021-09-13 |
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