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标题
Catalytic conversion of silicon tetrachloride to trichlorosilane for a poly-Si process
用于多晶硅工艺的四氯化硅催化转化为三氯氢硅
相关领域
三氯氢硅 四氯化硅 催化作用 产量（工程） 碳纤维 硅 材料科学 金属 化学 化学工程 无机化学 复合数 有机化学 冶金 复合材料 工程类
网址
http://dx.doi.org/10.1016/j.solmat.2012.06.009
DOI
10.1016/j.solmat.2012.06.009 doi
求助人
liko 在 2024-11-25 13:25:08 发布自北京，悬赏 10 积分
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