| 标题 |
[高分]
 Surface Analysis of Amorphous Carbon Thin Film for Etch Hard Mask 用于刻蚀硬掩模的非晶碳薄膜的表面分析
相关领域
材料科学
干法蚀刻
反应离子刻蚀
等离子体
沉积（地质）
无定形固体
氢
碳纤维
分析化学（期刊）
无定形碳
基质（水族馆）
图层（电子）
化学工程
复合材料
蚀刻（微加工）
结晶学
复合数
化学
有机化学
物理
古生物学
工程类
地质学
海洋学
生物
量子力学
色谱法
沉积物
|
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊：Journal of Nanoscience and Nanotechnology 作者：Kwang Pyo Kim; Wan Soo Song; Min Kyu Park; Sang Jeen Hong 出版日期：2021-03-01 |
| 求助人 | |
| 下载 | 求助已完成，仅限求助人下载。 |
|
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
|
薰硝壤
不配.
Singularity
浅尝离白
Henry
8R60d8
juziyaya
shinysparrow
个性的紫菜
xiaxiao
iNk
有人
咖啡豆
寻道图强
Leonardi
竹筏过海
pcr163
肯德鸭
毛豆爸爸
xjcy
皖公网安备34019202002308
