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 Monte Carlo simulation of silicon amorphization during ion implantation 离子注入过程中硅非晶化的蒙特卡罗模拟
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期刊：IEEE Transactions on Computer-Aided Design of Integrated Circuits and Systems 作者：W. Bohmayr; A. Burenkov; J. Lorenz; H. Ryssel; S. Selberherr 出版日期：1998-12-01 |
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