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 Effect of Non-Ionic Surfactant on Chemical Mechanical Planarization Performance in Alkaline Copper Slurry 非离子表面活性剂对碱性铜浆化学机械平坦化性能的影响
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| 其它 | Xu Q, Yang F, Chen L, et al. Effect of non-ionic surfactant on chemical mechanical planarization performance in alkaline copper slurry[J]. International Journal of Precision Engineering and Manufacturing, 2018, 19: 1585-1595. |
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