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 Experimental investigation of the radially-dependent ignition process in a pulsed capacitively coupled RF discharge: Effects of pressure, voltage and afterglow duration 脉冲电容耦合射频放电径向相关点火过程的实验研究：压力、电压和余辉持续时间的影响
相关领域
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期刊：Physica Scripta 作者：Zi-Xuan Su; Kai Zhao; Ke Jiang; Yong-Xin Liu; Fei Gao; et al 出版日期：2023-02-27 |
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