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Optimal Magnetic Graphite Heater Design for Impurity Control in Single-Crystal Si Grower Using Crystal Growth Simulation
基于晶体生长模拟的单晶硅生长机杂质控制磁性石墨加热器的优化设计
相关领域
杂质
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期刊:Processes 作者:Hye Jun Jeon; Hyeonwook Park; Salh Alhammadi; Jae Hak Jung; Woo Kyoung Kim 出版日期:2021-12-30 |
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