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标题
Beyond 10 μm Depth Ultra-High Speed Etch Process with 84% Lower Carbon Footprint for Memory Channel Hole of 3D NAND Flash over 400 Layers
400层以上3D NAND闪存通道孔超10 μ m深度超高速刻蚀工艺,碳足迹降低84%
相关领域
与非门 蚀刻(微加工) 闪光灯(摄影) 薄脆饼 材料科学 光电子学 闪存 足迹 电荷陷阱闪光灯 德拉姆 碳足迹 频道(广播) 纳米技术 电子工程 电气工程 温室气体 计算机科学 计算机硬件 工程类 光学 物理 图层(电子) 地质学 古生物学 海洋学
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DOI
10.23919/vlsitechnologyandcir57934.2023.10185160 doi
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ta 在 2024-12-19 21:49:47 发布自上海,悬赏 10 积分
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