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 Vapor-Phase Epitaxy of AlN Layers on AlN/Si(111) Templates Synthesized by Reactive Magnetron Sputtering 反应磁溅合成的AIN/Si（111）模板上的AIN层的蒸气相生长
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期刊：Technical Physics Letters 作者：В. Н. Бессолов; N. D. Gruzinov; M. E. Kompan; E. V. Konenkova; V. N. Panteleev; et al 出版日期：2020-04-01 |
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