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 Characterisation of pyramid formation arising from the TMAH etching of silicon TMAH刻蚀硅形成金字塔的特性
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| DOI |
10.1016/s0924-4247(98)00193-9
doi
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| 其它 |
期刊：Sensors and Actuators A: Physical 作者：W. K. Choi; James Y.L. Thong; P. Luo; Chao Tan; TeckMean Chua; et al 出版日期：1998-12-01 |
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