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标题
Special features of the growth of hydrogenated amorphous silicon in PECVD reactors
PECVD反应器中氢化非晶硅生长的特殊性
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网址
https://doi.org/10.1134/1.1307013
DOI
10.1134/1.1307013 doi
其它 期刊：Technical Physics
作者：Yu. E. Gorbachev; M. A. Zatevakhin; Valeria V. Krzhizhanovskaya; V. A. Shveigert
出版日期：2000-08-01
求助人
ljh 在 2025-01-08 13:37:22 发布自陕西，悬赏 10 积分
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