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Enhanced by-product desorption via laser assisted electron beam induced deposition of W(CO)6with improved conductivity and resolution
通过激光辅助电子束诱导沉积W(CO)6增强副产物解吸,提高电导率和分辨率
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期刊:Nanotechnology 作者:Nicholas A. Roberts; C. Gonzalez; Jason D. Fowlkes; Philip D. Rack 出版日期:2013-09-17 |
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