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标题
Atomic layer deposition of zirconium oxide thin films
氧化锆薄膜的原子层沉积
相关领域
材料科学 原子层沉积 薄膜 图层（电子） 锆 沉积（地质） 逐层 原子层外延 氧化物 化学工程 纳米技术 冶金 沉积物 生物 工程类 古生物学
网址
https://doi.org/10.1557/jmr.2019.338
AI链接 osti.gov cambridge.org cambridge.orgdoi.org
DOI
10.1557/jmr.2019.338 doi
其它 期刊：Journal of materials research/Pratt's guide to venture capital sources
作者：Xin Wang; Sujan Ghosh; Mahyar Afshar‐Mohajer; Hua Zhou; Yongqiang Liu; et al
出版日期：2019-11-08
求助人
醉熏的凝莲 在 2025-03-03 16:25:16 发布自江西，悬赏 10 积分
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