Low-temperature SiON films deposited by plasma-enhanced atomic layer deposition method using activated silicon precursor

已完结

文献求助详情

标题	Low-temperature SiON films deposited by plasma-enhanced atomic layer deposition method using activated silicon precursor 活化硅前驱体等离子体增强原子层沉积法制备低温SiON薄膜相关领域原子层沉积硅图层（电子）材料科学等离子体沉积（地质）化学吸附杂质吸附化学工程分析化学（期刊）纳米技术光电子学化学物理化学有机化学物理古生物学生物量子力学沉积物工程类
网址	https://doi.org/10.1116/1.4937734
DOI	10.1116/1.4937734 doi
其它	期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Sungin Suh; Seung Wook Ryu; Seongjae Cho; Jun-Rae Kim; Seongkyung Kim; et al 出版日期：2016-01-01
求助人	Yan 在 2024-10-10 09:26:24 发布自上海，悬赏 10 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

下个求助

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

不忘初心，牢记使命，为科研工作者服务

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

2024年影响因子查询已上线 (2024-6-20)

更新

大幅提高文件上传限制，最高150M (2024-4-1)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: imi完成签到，获得积分10

54秒前; 自然的含蕾完成签到，获得积分10

1分钟前; 江三村完成签到，获得积分10

1分钟前; 沈惠映完成签到，获得积分10

2分钟前; 科研通AI2S的应助被www采纳，获得10

2分钟前; vsvsgo完成签到，获得积分10

2分钟前; 科研通AI2S上传了应助文件

3分钟前; David完成签到，获得积分10

3分钟前; 无悔完成签到，获得积分10

3分钟前; David发布了新的文献求助20

3分钟前; 天天快乐的应助被jianning采纳，获得10

3分钟前; 奶糖喵完成签到，获得积分10

3分钟前; 科研通AI2S上传了应助文件

3分钟前; zyjsunye完成签到，获得积分0

3分钟前; violetlishu完成签到，获得积分10

4分钟前; 自由飞翔完成签到，获得积分10

4分钟前; meijuan1210完成签到，获得积分10

4分钟前; jerry完成签到，获得积分10

4分钟前; mictime完成签到，获得积分10

5分钟前; creep2020完成签到，获得积分10

5分钟前; iberis完成签到，获得积分10

5分钟前; 风衣拖地完成签到，获得积分10

5分钟前; ww完成签到，获得积分10

5分钟前; QinQin完成签到，获得积分10

6分钟前; QinQin发布了新的文献求助30

6分钟前; 白菜完成签到，获得积分10

6分钟前; 吴红波发布了新的文献求助10

6分钟前; 思源上传了应助文件

7分钟前; ccjjww25发布了新的文献求助10

7分钟前; ccjjww25完成签到，获得积分10

7分钟前; 龙猫爱看书完成签到，获得积分10

7分钟前; 红箭烟雨完成签到，获得积分10

8分钟前; 科研通AI2S上传了应助文件

8分钟前; 学术完成签到，获得积分10

9分钟前; Liangstar完成签到，获得积分10

9分钟前; 迅速的蜡烛完成签到，获得积分10

10分钟前; 爆米花的应助被QinQin采纳，获得10

11分钟前; 吴红波完成签到，获得积分10

11分钟前; 爆米花上传了应助文件

11分钟前; 吴红波发布了新的文献求助10

11分钟前