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标题
Reduction of Density of 4H-SiC / SiO<sub>2</sub> Interface Traps by Pre-Oxidation Phosphorus Implantation
预氧化磷注入降低4H-SiC/SiO2界面陷阱密度
相关领域
材料科学 离子注入 氧化物 二次离子质谱法 分析化学(期刊) 离子 热氧化 图层(电子) 冶金 纳米技术 化学 色谱法 有机化学
网址
DOI
10.4028/www.scientific.net/msf.778-780.575 doi
其它 期刊:Materials science forum
作者:Tomasz Sledziewski; Aleksey Mikhaylov; Sergey A. Reshanov; Adolf Schöner; Heiko B. Weber; et al
出版日期:2014-02-01
求助人
ZYH 在 2024-08-13 11:46:23 发布自湖北,悬赏 30 积分
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