SiO2 Tapered Etching Employing Magnetron Discharge of Fluorocarbon Gas

已完结

文献求助详情

标题	SiO2 Tapered Etching Employing Magnetron Discharge of Fluorocarbon Gas 碳氟气体磁控放电SiO2锥形刻蚀相关领域蚀刻（微加工）氟碳化合物聚合物材料科学基质（水族馆）反应离子刻蚀光刻胶沉积（地质）灰化聚合物基片分析化学（期刊）复合材料化学工程化学图层（电子）有机化学古生物学海洋学物理量子力学沉积物生物地质学工程类
网址	https://doi.org/10.1143/jjap.31.405
DOI	10.1143/jjap.31.405 doi
其它	期刊：Japanese journal of applied physics 作者：Tokuhisa Ohiwa; Keiji Horioka; T. Arikado; Isahiro Hasegawa; H. Okano 出版日期：1992-02-01
求助人	Halo 在 2024-05-13 23:00:49 发布自山东，悬赏 10 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

站在巨人的肩膀上，才更有可能跳的更远

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

祝大家在新的一年里科研腾飞

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

2024年影响因子查询已上线 (2024-6-20)

更新

大幅提高文件上传限制，最高150M (2024-4-1)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 单小芫完成签到，获得积分10

5秒前; 344061512完成签到，获得积分10

48秒前; 欣喜的莆完成签到，获得积分10

51秒前; Hello的应助被allrubbish采纳，获得10

51秒前; yingzaifeixiang完成签到，获得积分10

1分钟前; Hello上传了应助文件

1分钟前; allrubbish发布了新的文献求助10

1分钟前; liuliu完成签到，获得积分10

1分钟前; btcat完成签到，获得积分10

1分钟前; 大鲟完成签到，获得积分10

1分钟前; fsznc1完成签到，获得积分0

1分钟前; 耐冬树上传了应助文件

1分钟前; allrubbish完成签到，获得积分10

1分钟前; 故意的冰淇淋完成签到，获得积分10

1分钟前; 龙猫爱看书完成签到，获得积分10

1分钟前; 王博士完成签到，获得积分10

1分钟前; 123完成签到，获得积分10

2分钟前; 科研通管家关闭了777的文献求助

2分钟前; 777发布了新的文献求助10

2分钟前; tao完成签到，获得积分10

2分钟前; wyh完成签到，获得积分10

2分钟前; 不爱吃西葫芦完成签到，获得积分10

2分钟前; 123完成签到，获得积分10

2分钟前; 耐冬树的应助被777采纳，获得10

2分钟前; 跳跃的鹏飞完成签到，获得积分10

2分钟前; AZN完成签到，获得积分10

2分钟前; 娜娜子完成签到，获得积分10

2分钟前; 岳小龙完成签到，获得积分10

3分钟前; racill完成签到，获得积分10

3分钟前; keyan123发布了新的文献求助10

3分钟前; tangchao完成签到，获得积分10

3分钟前; 领导范儿上传了应助文件

3分钟前; 追梦完成签到，获得积分10

3分钟前; 追梦发布了新的文献求助10

3分钟前; 我爱Chem完成签到，获得积分10

3分钟前; keyan123发布了新的文献求助10

3分钟前; 冷静茉莉完成签到，获得积分10

3分钟前; 房天川完成签到，获得积分0

3分钟前; 人类繁殖学完成签到，获得积分10

3分钟前; CipherSage的应助被追梦采纳，获得10

4分钟前