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标题
MEMS Materials and Processes Handbook
MEMS材料与工艺手册
相关领域
微电子机械系统 材料科学 工程类 纳米技术
网址
https://link.springer.com/book/10.1007/978-0-387-47318-5
DOI
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AI识别 10.1007/978-0-387-47318-5 doi
求助人
Frank 在 2024-09-15 18:05:18 发布自江苏，悬赏 10 积分
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