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 Effects of gradient structure and modulation period of Ta/TaN/Ta(C,N)/Ta-DLC multilayer coatings prepared by HiPIMS HiPIMS制备的Ta/TaN/Ta（C，N）/Ta-DLC多层涂层的梯度结构和调制周期的影响
相关领域
材料科学
涂层
复合材料
摩擦学
高功率脉冲磁控溅射
无定形固体
微观结构
类金刚石碳
溅射沉积
粒度
碳化物
图层（电子）
溅射
薄膜
纳米技术
结晶学
化学
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期刊：Surface & Coatings Technology 作者：Qizhong Li; Tao Huang; Mai Yang; Tenghua Gao; Baifeng Ji; et al 出版日期：2023-03-09 |
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