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 3D 集成电路中玻璃通孔侧壁粗糙度对微波性能的影响分析与优化 相关领域
材料科学
表面粗糙度
共面波导
集成电路
微波食品加热
电子工程
表面光洁度
电感
蚀刻（微加工）
电子线路
电阻抗
电容器
散射参数
光电子学
复合材料
电气工程
工程类
电信
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图层（电子）
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