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Effect of water-cooled jacket on the oxygen transport during the Czochralski silicon crystal growth process
水冷夹套对直拉硅单晶生长过程中氧传输的影响
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期刊:Journal of Crystal Growth 作者:Xiaofang Qi; Junlei Wang; Yong Wen; Wencheng Ma 出版日期:2023-05-01 |
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