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 In2O3 film prepared by a PEALD process with balanced oxygen radical supply and ion bombardment damage 平衡氧自由基供应和离子轰击损伤的PEALD法制备In2O3薄膜
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期刊：Vacuum 作者：Ming-Jie Zhao; Zhi-Xuan Zhang; Chia‐Hsun Hsu; Wan-Yu Wu; Xiaoying Zhang; et al 出版日期：2021-06-27 |
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