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 Concurrently Preparing Front Emitter and Rear Passivating Contact via Continuous PECVD Deposition Plus One‐Step Annealing for High‐Efficiency Tunnel Oxide Passivating Contact Solar Cells 高效隧道氧化层钝化接触太阳电池连续PECVD沉积加一步退火同时制备前、后钝化接触
相关领域
钝化
共发射极
材料科学
退火（玻璃）
等离子体增强化学气相沉积
晶体硅
硼
薄脆饼
制作
太阳能电池
氧化物
兴奋剂
硅
化学工程
光电子学
纳米技术
复合材料
冶金
图层（电子）
化学
有机化学
病理
工程类
替代医学
医学
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期刊：Solar RRL 作者：Haojiang Du; Zunke Liu; Wei Liu; Mingjing Xiao; Na Lin; et al 出版日期：2023-02-12 |
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