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标题
Silicon dioxide (SiO2) solid blocking layer on through-glass via surface for efficient highly selective copper filling
用于高效高选择性铜填充的玻璃通孔表面上的二氧化硅（SiO2）固体阻挡层
相关领域
材料科学 铜 二氧化硅 图层（电子） 阻塞（统计） 硅 化学工程 纳米技术 复合材料 光电子学 冶金 数学 统计 工程类
网址
https://doi.org/10.1016/j.surfin.2024.105431
DOI
10.1016/j.surfin.2024.105431 doi
其它 期刊：Surfaces and Interfaces
作者：Fan Yang; Qing Wang; Jinhyun Lee; Yunha Song; Inho Hwang; et al
出版日期：2024-11-21
求助人
TAboo 在 2024-11-29 08:56:53 发布自湖北，悬赏 10 积分
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