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![]() 亚7 nm节点改进FOMs的GAA纳米片场效应晶体管应力/应变的设计与优化
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期刊:Physica Scripta 作者:E. Mohapatra; Devika Jena; Soumyadeep Das; CK Maiti; Taraprasanna Dash 出版日期:2023-04-24 |
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