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Study of Through Glass Via (TGV) Using Bessel Beam, Ultrashort Two-Pulses of Laser and Selective Chemical Etching
利用贝塞尔光束、超短双脉冲激光和选择性化学蚀刻技术研究玻璃通孔(TGV)
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期刊:Micromachines 作者:Jonghyeok Kim; Sŭng-il Kim; Byungjoo Kim; Jiyeon Choi; Sanghoon Ahn 出版日期:2023-09-14 |
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