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 Tin oxide atomic layer deposition from tetrakis(dimethylamino)tin and water 四（二甲氨基）锡与水沉积氧化锡原子层
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锡
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期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Marja N. Mullings; Carl Hägglund; Stacey F. Bent 出版日期：2013-07-09 |
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