The Effects of Different Silicon Oxide Substrates on Amorphous Silicon Thin-Film

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标题	The Effects of Different Silicon Oxide Substrates on Amorphous Silicon Thin-Film 不同氧化硅衬底对非晶硅薄膜的影响相关领域硅材料科学非晶硅氧化物薄膜晶体管光电子学无定形固体纳米晶硅混合硅激光器薄膜氧化硅工程物理纳米技术晶体硅薄膜晶体管化学结晶学工程类图层（电子）氮化硅
网址	https://doi.org/10.1109/cstic61820.2024.10532064
DOI	10.1109/cstic61820.2024.10532064 doi
其它	期刊：作者：Zhengdao Liu; Zun Chen; Weimin Wang; Jinlong Mu; Yuanzhi Li; et al 出版日期：2024-03-17
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