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 Atomic layer deposition of MoNx thin films using a newly synthesized liquid Mo precursor 用新合成的液态Mo前驱体原子层沉积Monx薄膜
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期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Byunguk Kim; Sangmin Lee; Taesung Kang; Sung Hoon Kim; Sang Man Koo; et al 出版日期：2022-11-15 |
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