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标题
HiPIMS deposition of silicon nitride for solar cell application
用于太阳能电池的氮化硅的HiPIMS沉积
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材料科学 高功率脉冲磁控溅射 太阳能电池 氮化硅 非晶硅 分析化学（期刊） 傅里叶变换红外光谱 无定形固体 纳米技术 氮化硅 钝化 硅 纳米晶硅 纳米压痕 辉光放电 纳米晶材料 光电子学 薄膜 溅射沉积 溅射 光学 复合材料 晶体硅 结晶学 图层（电子） 物理 化学 等离子体 量子力学 色谱法
网址
https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2018.03.025
DOI
10.1016/j.surfcoat.2018.03.025 doi
其它 期刊：Surface & Coatings Technology
作者：Vasile Tiron; Ioana-Laura Velicu; Iulian Pana; Daniel Cristea; Bogdan-George Rusu; et al
出版日期：2018-06-25
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好学的X 在 2025-01-22 13:27:13 发布自浙江，悬赏 10 积分
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